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一、 紅外光譜儀真空系統簡介：

1. 外圍真空系統由干泵與分子泵串抽達到高真空要求，可實現對原位反應池的凈化處理和實現真空吸附和脫附過程。

2. 技術指標：系統的極限真空優于1×10^-3Pa，所有閥門的平均無故障運行次數大于10萬次。

3. 主要閥門為不銹鋼角閥。主分子泵具有抽速快，體積小，低噪音，操作簡單，使用方便的特點,前級為無油系統，對樣品可達到基本無污染，且開機啟動時間只需幾分鐘。主泵口的冷卻室可冷卻樣品中對分子泵的污染有害成份，易于清理。

4. 通樣品室的接口及工位閥可依客戶的要求做相應改變。

5. 本設備提供12個月質量保證期，負責保修，并且提供咨詢及完備的售后服務。

二、 主要構成部件：

渦輪分子泵     干泵     

全量程真空規   角閥  

安全隔離閥  冷阱    真空配件等