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SemiChem 在線(xiàn)濃度監(jiān)測(cè)儀

SemiChem APM

直接聯(lián)系

上海奧法美嘉生物科技有限公司

美國(guó)

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

40-50萬(wàn)元

型號(hào):

SemiChem APM

關(guān)注度:

3641

產(chǎn)品介紹

SemiChem 在線(xiàn)濃度監(jiān)測(cè)儀

Entegris在設(shè)計(jì)和生產(chǎn)用于半導(dǎo)體制造工藝中 的化學(xué)機(jī)械平坦化(CMP)漿料和配方清潔化學(xué)品的高精度分析儀器的有豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的技術(shù)旨在確保復(fù)雜混合化學(xué)品的精確一致性,并在 CMP和配方清潔工藝中實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量。


我們的 SemiChem Advanced Process Monitor SemiChem 在線(xiàn)濃度監(jiān)測(cè)儀)是集自動(dòng)取樣、分析和報(bào)告關(guān)鍵過(guò)程的定量化學(xué)濃度的化學(xué)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。全面的在線(xiàn)化學(xué)監(jiān)測(cè)可實(shí)時(shí)校正漿料成分,從而穩(wěn)定控制工藝生產(chǎn)條件。該系統(tǒng)可提供分類(lèi)化學(xué)濃度數(shù)據(jù)。當(dāng)立即顯現(xiàn)時(shí),可以快速糾正可能對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生負(fù)面影響的變化,有助于滿(mǎn)足更高產(chǎn)品產(chǎn)量的要求。


應(yīng)用領(lǐng)域

在全球范圍內(nèi),我們安裝了近3000套SemiChem APM系統(tǒng),用于控制金屬 CMP 濃度。它是控制CMP過(guò)氧化物的可靠的中心工具,并被證明在微電子環(huán)境中的所有濕化學(xué)應(yīng)用中都具有較好的性能,包括:

·銅,鎢,阻擋層和金屬CMP

·制定清潔

·DSP+

·濕法蝕刻,氮化物蝕刻

·平底蝕刻,食人魚(yú)蝕刻

·高頻

·廢水


功能與特點(diǎn)


經(jīng)驗(yàn)證的標(biāo)準(zhǔn)電化學(xué)技術(shù)提供行業(yè)精確的監(jiān)控,以保證過(guò)程化學(xué)成分和完整性
提供化學(xué)濃度數(shù)據(jù),使?jié){料/化學(xué)分配系統(tǒng)能夠提供準(zhǔn)確的化學(xué)濃度
在線(xiàn)的,接近實(shí)時(shí)檢測(cè)的系統(tǒng) 檢測(cè)揮發(fā)性化學(xué)物質(zhì)的工藝偏差,防止產(chǎn)品質(zhì)量損壞
將實(shí)驗(yàn)室技術(shù)過(guò)渡到在線(xiàn),實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確的在線(xiàn)控制
堅(jiān)固耐用的工業(yè)設(shè)計(jì)維持至少8500小時(shí)平均工作時(shí)間
可經(jīng)受?chē)?yán)峻的工業(yè)環(huán)境





規(guī)格


分析方法電位測(cè)定法,標(biāo)準(zhǔn)加成法,光度測(cè)定法
電位測(cè)量的準(zhǔn)確性* 顯示值的±0.2%
標(biāo)準(zhǔn)添加的準(zhǔn)確性* 顯示值的±2.0%
電位測(cè)量精度* ±0.2%相對(duì)誤差
標(biāo)準(zhǔn)添加精度* ±2.0%相對(duì)誤差
測(cè)量時(shí)間>5分鐘/次(取決于應(yīng)用程序)
校準(zhǔn)間隔 啟動(dòng)時(shí)**
樣品消耗<5 mL/次
進(jìn)樣量0.05-5 mL(取決于應(yīng)用)
進(jìn)樣溫度**93°C(200°F)
耗水量<1000 mL/分析
樣品進(jìn)樣/排樣<207 kPa(30 psi),0.5 L/min
1/4" OD擴(kuò)口接頭,1" FPT安全殼聯(lián)軸器
去離子水138至276 kPa(20至40 psi)
2.0升/分鐘
外徑 1/4" 擴(kuò)口接頭
CDA414-552 kPa(60-80 psi)
1/4" 外徑快速接頭
排水工藝:3/4“NPT重力排水管    機(jī)柜:1/2“NPT重力
電源110/220 VAC,50/60 Hz,1/0.5 A現(xiàn)場(chǎng)可切換
廢氣外徑1 7/8" @ 17 CFM




























標(biāo)準(zhǔn)功能可選功能

·四個(gè)4-20 mA模擬輸出

·八個(gè)可編程繼電器

·以太網(wǎng)和RS232串行

·彩色觸摸屏

·單個(gè)測(cè)量單元

·綜合試劑儲(chǔ)存

·單個(gè)采樣點(diǎn)

·一個(gè)5 mL數(shù)字滴定管

·多傳感器輸入

·多個(gè)采樣點(diǎn)

·額外的5 mL數(shù)字滴定管

·附加傳感器

·安全聯(lián)鎖裝置

·試劑微量檢測(cè)












尺寸



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產(chǎn)品咨詢(xún)

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SemiChem APM

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