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密閉式電機鼓風(fēng)機

AERZEN

直接聯(lián)系

艾珍機械設(shè)備制造(上海)有限公司

德國

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

AERZEN

型號:

AERZEN

關(guān)注度:

3758

范圍(量程或細度):

--

創(chuàng)新點:

AERZEN 密閉式電機鼓風(fēng)機大幅縮短泵送時間,從而提高了產(chǎn)量。 這是工藝優(yōu)化的一大進步。

應(yīng)用行業(yè):

半導(dǎo)體行業(yè)

微電子工業(yè)

平面屏幕制造

激光技術(shù)

太陽能技術(shù)

氦檢漏裝置

化學(xué)工藝技術(shù)

箔紙和玻璃噴漆

熔爐制造

氫的提取

典型用戶:

半導(dǎo)體行業(yè)

微電子工業(yè)

平面屏幕制造

激光技術(shù)

太陽能技術(shù)

氦檢漏裝置

化學(xué)工藝技術(shù)

箔紙和玻璃噴漆

熔爐制造

氫的提取

產(chǎn)品介紹

一、技術(shù)參數(shù):

結(jié)構(gòu)形式                          正排量風(fēng)機

體積流量                          110 止于  15.570 m3/h

介質(zhì)                                 空氣 , 中性氣體 , 腐蝕性氣體

輸送                                無油

FINAL VACUUM              **表壓(單位:10^-5mbar

PRESSURE DIFFERENCE   **表壓(單位:10^-5 - 200mbar

二、概述:

適用于工業(yè)高真空技術(shù)的正排量風(fēng)機。

帶有密閉式驅(qū)動裝置的 AERZEN 鼓風(fēng)機經(jīng)過專門設(shè)計,可輸送中性(HM 設(shè)計)和腐蝕性(CM 設(shè)計)氣體,用于工業(yè)高真空技術(shù)。 此系列的特點是高能效和高可靠性。

適用于腐蝕性氣體的 CM 系列版本:

  • AERZEN CM 系列共可選 14 種結(jié)構(gòu)尺寸,適用的理論進氣流量范圍從 110 m3/h 到 15,340 m3/h,適用的壓力范圍在 10^-5 mbar **壓力以內(nèi)。 產(chǎn)品優(yōu)勢一覽:

  • 通過 ATEX 0 區(qū)認證(內(nèi)部)

  • 4 種不同電機變體,實現(xiàn)**選擇

  • 機械負載較高(高達 150 mbar),因此縮短了泵送時間

  • 僅消耗極少水、氮和油

  • 適用于凈室環(huán)境應(yīng)用

  • 借助變頻器實現(xiàn)較大的控制范圍(從 1.450 到 7.400 rpm,或從 1.240 到 2.900 rpm)

  • 可選擇縱向或水平輸送方向

適用于中性氣體的 HM 系列版本:

  • AERZEN HM 系列可選 9 種結(jié)構(gòu)尺寸,在 10^-5 mbar 的**真空壓力條件下,適用的理論進氣流量范圍從 406 m3/h 到 15,570 m3/h。 產(chǎn)品優(yōu)勢一覽:

  • 4 種不同電機變體,實現(xiàn)**選擇

  • 機械強度較高(HM 系列高達 230 mbar),因而大幅縮短泵送時間

  • 耗水量、耗氮量低

  • 適用于凈室環(huán)境應(yīng)用

  • 借助變頻器實現(xiàn)較大的控制范圍,各項參數(shù)針對 AERZEN 密閉式電機鼓風(fēng)機進行過調(diào)整,卓有成效

  • 可選擇縱向或水平流動方向



三、性能:

AERZEN 密閉式電機鼓風(fēng)機大幅縮短泵送時間,從而提高了產(chǎn)量。 這是工藝優(yōu)化的一大進步。

設(shè)計與結(jié)構(gòu)

AERZEN 真空泵的殼體法蘭之處配有 O 形圈密封件。 風(fēng)機頭還有真空密閉性和空氣冷卻等其他重要優(yōu)勢。 由濺油潤滑裝置提供潤滑油。 礦物油和 PFPE 油都可以作為潤滑劑,PFPE 油通常用于半導(dǎo)體技術(shù)。 密閉式電機鼓風(fēng)機在輸送室和軸承室配有專用的矩形圓環(huán)—迷宮—密封件。 另外還安裝了一個配有冷凝通道的大尺寸中和室。 或者,中和室可以用密封氣體沖洗,以實現(xiàn)更強的密封效果。 一體化密閉式電機可確保對驅(qū)動軸的密封。 因此無需連接大氣的軸通道,從而可以從技術(shù)上實現(xiàn)明顯更高的轉(zhuǎn)速。


四、應(yīng)用:

帶有密閉式驅(qū)動裝置的 AERZEN 鼓風(fēng)機經(jīng)過專門設(shè)計,可輸送中性(HM 系列)和腐蝕性(CM 系列)氣體,專用于工業(yè)高真空技術(shù)。 密閉式電機鼓風(fēng)機始終結(jié)合前級泵使用*。 
此前級泵在大氣壓力條件下開始運行。 通常在大約 50 至 200 mbar 的條件下連接密閉式電機鼓風(fēng)機,然后泵送流程啟動。 根據(jù)應(yīng)用的不同,可以使用液環(huán)泵、滑片式真空泵、螺桿真空泵或鼓風(fēng)機作為前級泵。 配有 AERZEN 變頻器并使用專用參數(shù)集時,前級泵也可以在大氣壓力條件下運行。

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體行業(yè)

  • 微電子工業(yè)

  • 平面屏幕制造

  • 激光技術(shù)

  • 太陽能技術(shù)

  • 氦檢漏裝置

  • 化學(xué)工藝技術(shù)

  • 箔紙和玻璃噴漆

  • 熔爐制造

  • 氫的提取

*使用帶有密閉式驅(qū)動裝置的 AERZEN 真空鼓風(fēng)機時,必須配備額外的前級泵(多級系統(tǒng))。


產(chǎn)品咨詢

密閉式電機鼓風(fēng)機

AERZEN

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