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SYSC-300系列
面議
SYSC-300系列
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具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、極好的加速度、主動式速度調(diào)控、勻膠過程多段程序控制等特點。
可用于微電子、半導(dǎo)體、光電器件、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的各類高精密納米功能涂層的制備。
可用于微電子、半導(dǎo)體、光電器件、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的各類高精密納米功能涂層的制備。
一. 產(chǎn)品應(yīng)用 SYSC-300系列高精度程控旋涂儀(Spin Coater),其**轉(zhuǎn)速可達10000rpm,**旋轉(zhuǎn)加速度可達50000rpm/s(有負載條件下的真實加速度)。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、極好的加速度、主動式速度調(diào)控、勻膠過程多段程序控制等特點。可用于微電子、半導(dǎo)體、光電器件、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的各類高精密納米功能涂層的制備。 二. 產(chǎn)品特點 1. 旋轉(zhuǎn)電機采用專為勻膠機設(shè)計的精密高速伺服電機,具有高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性。 2. 優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能,**旋轉(zhuǎn)加速度可達50000rpm/s(有負載的真實加速度)。 3. 兩項安全互鎖功能: (1) 勻膠腔體具有開啟、關(guān)閉的檢測功能,確保腔體關(guān)閉后才可啟動,防止勻膠過程中飛片造成人身傷害; (2) 真空吸片具有真空檢測功能,若發(fā)生真空泄漏,基片無法吸附牢固,則立即停止運行。 4. 機身外殼采用SUS304不銹鋼制作,防腐蝕、不生銹、易清潔。 5. 勻膠腔體采用德國勞士領(lǐng)NPP材料,經(jīng)CNC一體加工成型。接儲脫離基片的膠液,避免進入真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。 6. 旋轉(zhuǎn)吸片臺采用德國勞士領(lǐng)PEEK材料,經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。 7. 勻膠過程全自動分段程序控制。整個勻膠過程*多可分十段進行,每段的加速時間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)。可儲存50組工藝程序,隨時調(diào)用。 8. 7英寸液晶觸摸屏使控制更方便;運行狀態(tài)及各項參數(shù)實時顯示,更直觀了解勻膠進程; 9. 真空泵的開啟與關(guān)閉均為自動程序控制,無需手動操作。 10. 旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟,“預(yù)吸片時間”*多為99s,確保基片牢固吸附于旋轉(zhuǎn)臺后再進行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟,“解吸片時間”*多為99s,確保安全停止后再切斷真空,釋放基片,防止涂膜后的基片滑落,對膜層造成損傷。 11. 標(biāo)配無油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺,防止飛片。 三. 技術(shù)參數(shù) 設(shè)備型號 技術(shù)參數(shù) SYSC-300A SYSC-300B SYSC-300C 可鍍膜基片尺寸 ?10~300mm ?10~300mm ?10~300mm 旋轉(zhuǎn)速度 10~6000rpm 10~8000rpm 10~10000rpm 轉(zhuǎn)速分辨率 1rpm 1rpm 1rpm 速度精度性 <0.02% <0.02% <0.02% 旋涂加速度* 0~30000rpm/s 0~40000rpm/s 0~50000rpm/s 每段加速時間 999.9s 999.9s 999.9s 每段旋涂時間 9999.9s 9999.9s 9999.9s 時間分辨率 0.1s 0.1s 0.1s 預(yù)吸片時間 99s 99s 99s 解吸片時間 99s 99s 99s * **旋涂加速度為有負載條件下(使用≤?100mm基片)的真實加速度SYSC-300系列高精度程控勻膠機(Spin Coater),是**一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。 精密高速伺服電機驅(qū)動,轉(zhuǎn)速達10000rpm,轉(zhuǎn)速精準(zhǔn)。 **旋轉(zhuǎn)加速度可達50000rpm/s(有負載的真實加速度)。 全自動程序控制。 超強耐腐蝕,304不銹鋼機身,腔體采用NPP材料,旋轉(zhuǎn)臺采用PEEK材料。 安全保護功能,真空吸片檢測,腔體關(guān)閉檢測。 主要用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的各類高精密納米功能涂層的制備。