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特性：

• 專為半導體行業設計

• 非金屬，流體通道內無O型圈

• 滲流設計

• 無金屬固定件，如拉桿或支架

• 有集成脈動均衡器可選

• 100級凈室內組裝

技術數據：

• 機加工的塑料設計，有聚乙烯（PE）和聚四氟乙烯（PTFE）兩種材質

• 優化的聚四氟乙烯（PTFE）隔膜技術

• 五種尺寸：從10mm（3/8"）到38mm（1-1/2"）

• NPT接口

• **耐受溫度：200° C（390°F）

• 精確的流體輸送

性能數據：

• **流量：200lpm（52gpm）

• **吸程：干吸4m（13.1'），濕吸9m（29.5'）