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懸臂槳

懸臂槳

直接聯(lián)系

濰坊明亮精細(xì)陶瓷有限公司

山東

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

濰坊明亮

型號：

懸臂槳

關(guān)注度：

271

產(chǎn)品介紹

反應(yīng)燒結(jié)碳化硅懸臂獎，是半導(dǎo)體晶圓裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部位。懸臂槳性能穩(wěn)定，在高溫環(huán)境下不變形，晶圓裝載量大，適用于機(jī)器人自動裝載和搬運(yùn)系統(tǒng)。由于懸臂獎截面穩(wěn)定不變形，使得利用現(xiàn)有的爐管制備更大規(guī)格晶圓成為可能。

懸臂槳與LPCVD涂層的熱膨脹系數(shù)相近，應(yīng)用于LPCVD極大地延長了維護(hù)清洗周期，并大幅減少污染物。


產(chǎn)品咨詢

懸臂槳

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懸臂槳 - 271
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