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設備用途：本設備為30kg氧化亞硅設備，主要用于氧化亞硅的高溫反應制備及收集，兼有一般高溫氣氛爐的功能。設備由爐體、爐門及其鎖緊裝置、加熱系統、充放氣系統、真空系統、電氣控制系統、水冷卻系統、變壓器及聯接電纜等組成。

特色與優勢：

1.設備爐體上設有真空預抽氣口和小抽速抽氣口，有利于粉料燒結時不易被抽出。

2.設備配置一路自動充放氣系統，由壓力傳感器及電磁閥形成閉環控制系統，可對爐內氣氛壓力進行控制。

3.設置多點控溫/測溫，可實時控制、監測工藝燒結過程中的溫度變化。