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氧等離子清洗機其原理是:在低真空環境中通入氧氣，上電極接入的射頻功率會使得上極板與下極板交替(陰極)發射電子，電子經過上下極板之間的電場加速后撞擊氧分子:當電子速度達到足夠大時，其撞擊便會使氧氣電離;電離后的氧等離子體中含有的多種帶電粒子，在電場的作用下，這些帶電粒子不斷碰撞別的粒子，不斷變化;*后氧等離子體整體達到動態平衡，其含有各種粒子的比例由射頻功率決定。同時在這個過程中，需要不斷輸入氧氣和排出廢氣。