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YCVD-1706系統由高溫管式爐

YCVD-1706

直接聯系

杭州嘉悅智能設備有限公司

上海

產品規格型號

參考報價：

1萬元以下

品牌：

上海煜志

型號：

YCVD-1706

關注度：

5980

創新點：

YCVD-1706系統由高溫管式爐，高真空擴散泵/分子泵系統，多通道高精度數字質量流量控制系統，自動壓強控制系統等組成。可實現本底真空達0.001—0.0001Pa混合氣體化學氣相沉積和擴散試驗

應用行業：

適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長等場所

產品介紹

YCVD-1706系統由高溫管式爐，高真空擴散泵/分子泵系統，多通道高精度數字質量流量控制系統，自動壓強控制系統等組成?？蓪崿F本底真空達0.001—0.0001Pa混合氣體化學氣相沉積和擴散試驗, 適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長等場所。

主要功能和特點：

1、真空系統可根據使用要求選擇我司擴散泵機組或分子泵機組；

2、可配合壓強控制儀控制氣體壓力實現負壓的精準控制；

3、數字質量流量控制系統是由多路質量流量計，流量顯示儀等組成，實現氣體的流量的精密測量和控制；

4、每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統的安全可靠。

5、采用水冷KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；

6、管路采用世界**Swagelok卡套連接，不漏氣；

7、超溫、過壓時，自動切斷加熱電源及流量計進氣，保證設備及實驗的安全性。

主要技術參數：

SGL-1700 高溫爐	控溫方式	采用人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能，并可編制50段升降溫程序。
	加熱元件	進口1700型優質硅鉬棒
	工作電源	AC220V 50Hz/60Hz
	額定功率	6kw
	爐管材質	99瓷氧化鋁剛玉管
	爐管尺寸	Φ60/80/100*/1000mm
	工作溫度	≤1600℃
	**溫度	1650℃
	恒溫精度	±1℃
	升溫速度	≤10℃/min
	測溫元件	B型熱電偶
	密封方式	不銹鋼水冷KF法蘭擠壓密封
ZK 真空系統		ZK-F	ZK-K
	真空范圍	0.1-0.001Pa	0.1-0.01Pa
	極限真空	5.0*10^-5Pa	5.0*10^-4Pa
	產品配置	雙級旋片真空泵+分子泵	雙級旋片真空泵+擴散泵
	冷卻方式	風冷	水冷
	抽速	110L/S	100L/S
	測量方式	復合真空計
	真空規管	電阻規+電離規
ZDC-I 壓強控制系統	測量范圍	110^5～110^-1 Pa
	穩壓(真空)范圍	110^3～110Pa
	壓力(穩定精度）	±3%
	控制范圍	2.510^3～510^-1 Pa
	控制精度	± 1%
HQZ-Ⅲ 混氣系統	控制方式	D07-7K質量流量計,D08流量顯示儀
	流量規格（可訂制）	0－500SCCM /0－1SLM,
	線性	±1%F.S.
	準確度	±1%F.S.
	重復精度	±0.2%F.S.
	響應時間	≤2sec
	耐壓	3MPa
	氣路通道	3通道（根據客戶需求）
	針閥	316不銹鋼
	管道	Φ6mm不銹鋼管
	接口	SwagelokΦ6mm

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