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設備用途:設備可用于粉體、顆粒物料、硅負板材料氣相沉積碳包覆等工藝的高溫裂變。

。 設備主體尺寸:1800mmx1200mmx1700mm(以*終設計方案為準)。

0 回轉爐體尺寸:中320mmx600mm(實際裝填物料工作區尺寸}。

0 設備設計產能:爐內**填充率約為20%6;**批次處理3-5kg。

0 爐體傾角:-4~15座(自動可調)/簡體轉速:0.25~4轉/分(變頻可調)。

0 爐內氣氛環境:滿足高純舞氣(或者其他惰性氣體)、乙炔、硅烷、甲烷等合氣體。

。設備使用溫度:設計**1100℃℃，爐內恒溫時間跟據客戶工藝可調，可長期運行于1000℃0 加熱方式:內載電阻絲模塊園周加熱。

o 加熱溫區及控溫個數:3個。

0 遙控系統:島電觸摸屏+島電模塊(支持所有溫度數據采集并導出PC)0 控謠穩定性:+2%C/溫控表精度:0.3°C/設備表面濕升:<60℃。

0 電源:三相，380VAC,50HZ。

。裝機功率:30KW±10%。

0 報警保護:超溫、斷偶、超壓，低壓，氣體泄漏等聲光報警保護(指示燈指示)。

0 氣體流量計:高情度不銹鋼減壓閥(調節進氣壓力)+質量流量控制器(控制顯示實時流速和累計流速)+輔助氨氣管路+玻璃轉子透量計，為您預防斷電無法供氣的情況發生。