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Advance Riko RTP-快速退火爐

直接聯系

凱戈納斯儀器商貿(上海)有限公司

產品規格型號
參考報價:

面議

關注度:

5612

范圍(量程或細度):

--

產品介紹

退火溫度均勻性:

 ±2.0℃

退火溫度準確性:

 ±2.0℃

降溫速率:

 30℃/s

**升溫速率:

 50℃/s

溫度范圍:

 室溫~1200℃

樣品尺寸:

 2英寸

產地類別:

 進口

儀器種類:

 高真空快速退火爐

價格區間:

 10萬-30萬



快速熱處理(RTP)已經成為半導體、鐵電體以及鍍膜行業的重要退火技術。但是目前,只有大型的、昂貴的生產設備才能完成快速熱處理,這大大降低了研發工作的效率(尤其是小的樣品)。為了滿足市場的需求,ADVANCE RIKO研發出MILA-5000系列的小型快速退火爐。此系列的設備包含紅外金面反射爐和高精度的溫度控制器。根據需求選配相應的泵和氣體接口,MILA能提供與大型RTP設備相同的熱處理性能。

特點:

快速加熱及冷卻能力;

可在任意氣氛中使用;

實時觀測試樣;

精確的溫度控制;

 

型號

MILA-5000Series

溫度范圍:

室溫~1200℃

加熱功率:

50℃/s(50~1200℃)真空

45℃/s(50~1200℃)氮氣氛圍

溫度均勻性:

±2.0℃(ΔT=4℃)1200℃真空

±4.5℃(ΔT=9℃)1200℃氮氣氛圍

加熱氣氛:

大氣、真空、惰性氣氛環境下

試樣尺寸:

MAX:50 square or φ 50 x T5 (mm)

程序模組:

溫度VS時間設定、Step數256、Program數32(Max);

PID+Fuzzy控制、自動微調、USB通訊、自動/手動切換;

 


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Advance Riko RTP-快速退火爐

凱戈納斯儀器商貿(上海)有限公司

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