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小型氧化亞硅氣相沉積真空爐

小型氧化亞硅氣相沉積真空爐

直接聯(lián)系

深圳市美格真空科技有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

品牌:

美格

型號(hào):

小型氧化亞硅氣相沉積真空爐

關(guān)注度:

2405

產(chǎn)品介紹

1.產(chǎn)品名稱(chēng):小型氧化亞硅氣象沉積真空爐

2.應(yīng)用領(lǐng)域:動(dòng)力電池負(fù)極材料(氧化亞硅等可氣相沉積材料)

3.工藝描述:三溫區(qū)設(shè)計(jì),合金內(nèi)膽,溫差控制精度3℃,高溫高真空,具備脫水,混煉反應(yīng),提純等工藝,反應(yīng)充分,成品率高(約70%-80%)

 

型號(hào)

裝料尺寸

裝載量

工作溫度

極限溫度

真空度

總功率

氣氛類(lèi)別

工序時(shí)長(zhǎng)

MGB15-85HH

Φ150 * 850

0.12M3

1350°C

1600

0.1* 0.5pa

35KW

Ar/N2

16H/爐



產(chǎn)品咨詢(xún)

小型氧化亞硅氣相沉積真空爐

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