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單晶爐
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Ferrotec(中國)
浙江
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大和熱磁
952
在惰性氣體環境中,用石墨加熱器將保存在石英坩堝內的多晶硅等多晶材料高溫熔化,再將籽晶放入變成液體的硅溶液里按自動程序用直拉法生長無錯位單晶的設備, 可控制整體裝料量,全自動控制拉晶過程, 全面數字化管理,采用中央集中控制系統,減少了人為因素的參與,保證質量穩定性。
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