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石墨盤專用真空烤盤爐

產(chǎn)品介紹：真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。

應(yīng)用范圍：

主要用于有效清除MOCVD承受器 （SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達到有效清潔處理，提高制品質(zhì)量的目的。

設(shè)計特點：

1、后門設(shè)計熱風電機

2、降溫時風機開啟，同時兩端降溫封頭開啟， 爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向

3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進 行熱交換，達到快速降溫的目的

內(nèi)部系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及原理：

技術(shù)參數(shù)：