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爐

體

結

構

1、爐蓋是由內外封頭及法蘭組成，其外層及采用碳鋼材料制作而成，內層及法蘭采用不銹鋼，內封頭為 10mm 不銹鋼，外封頭為 10mm 不銹鋼，法蘭為 40mm 不銹鋼，內外封頭與法蘭焊接成一個整體，兩層支間形成夾套可以通水冷卻，爐蓋開關及鎖緊采用手動方式。

2、發熱元件采用硅鉬棒（硅鉬棒為標準件，硅鉬棒冷端為 ?12mm），將硅鉬棒(48 根）分成三區，每區 12 根連接成三相，由特質的引出電極從爐體引出，并由電爐控制

系統三相供電經過變壓器降壓后用銅排或電纜連結到引出電極，形成一個控制回路。

3、保溫層由多晶體莫來石材料及不銹鋼框架經過加工制作成一個整體的隔熱系統，能方便安裝及維修.

4、氮化硅合成爐內設有保溫層支撐座，將保溫桶放在設計好的支撐座上，保溫層使用不銹鋼外框及保溫材料做成，保溫材料為多晶體莫萊石。

真

空

系

統

真空系統由機械泵+羅茨泵，氣動高真空蝶閥，帶充氣壓差閥及不銹 鋼管道組成，真空測量儀選用電阻式數顯真空測量儀。

電

氣

系

統

（1）供電是采用低壓變壓器及可控硅功率控制器，380V 三相電源經過降壓變壓器，電壓降后經過連接銅牌或電纜送到引出電極上。本系統具有軟啟動、軟切斷、恒流、過流保護等功能。

（2） 整臺電爐的電氣控制采用昆侖通觸摸屏，并配有 12 寸觸摸屏，并通過觸摸屏按照工藝要求設置及保存。也可將輸出信號接入用戶的 DCS 系統中實現全過程監控；本系統具有軟啟動、軟切斷、恒流、過流保護等功能：熱電偶采用鎢錸熱電偶。

（3）整臺電爐在工作狀態下具有，水欠壓（及欠流）、超溫、過流自動連鎖及報警、保護切斷主電源功能，報警狀態為聲、光指示方式 。

（4）氣體控制方式

氣體經減壓閥降壓后，由電磁閥及氣體流量計按比例進入氣體混合桶，混合氣體分二路進入爐膛，在升溫過程中，氣體會隨溫度的升高而膨脹超壓，超壓部分再由壓變及電磁閥自動將多余氣體從爐體底部排出爐體。（控制回路，回路為單回路）

水

冷

系

統

冷卻水由總管進入，經過各支路送至爐體.爐蓋及需要冷卻的地方，然后匯總到回水管進入水箱或冷卻塔，每路冷卻水都配有手動銅球閥，可以按需要調節流量大小；總進水管上裝有電接點壓力表，當水壓低于設定壓力時，控制系統會聲.光報警.并自動切斷主電源，冷水機由客戶自備。