粉體行業(yè)在線展覽
siC晶體生長(zhǎng)爐
面議
重慶眺望
siC晶體生長(zhǎng)爐
21
主要特點(diǎn)
電感加熱式物理氣相傳輸SiC生長(zhǎng)爐
雙壁水冷石英管
2英寸,100mm或150mm晶圓工藝
高溫計(jì)控制和電源控制,保證生長(zhǎng)爐穩(wěn)定運(yùn)行
自動(dòng)PLC控制、帶工藝、觸屏、安全互鎖/警報(bào)等功能
遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)和控制
占地空間*小的SiC生長(zhǎng)爐