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全自動Overlay量測設備

MRS-OM40

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蘇州鎂伽科技有限公司

蘇州

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型號：

MRS-OM40

關注度：

136

產品介紹

鎂伽全自動 〇verlay 量測設備 MRS-OM40，適用于光刻制程單面、雙面、紅外 Overlay 自動量測，配置可見光和紅外光顯微成像系統(tǒng)，具備高速、高精度、多功能量測能力，是 MEMS 晶圓廠、芯片制程黃光區(qū)進行產品良率管理的關鍵設備。

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