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穩(wěn)定性和敏感度的新疆界，檢漏低達(dá)10^-12毫巴·升/秒

英福康UL1000FAB移動(dòng)式氦氣檢漏儀特別設(shè)計(jì)用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。

憑借工廠環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級(jí)中的簡(jiǎn)單使用性、檢漏效率性和移動(dòng)性，UL1000FAB氦氣檢漏儀提供在所有測(cè)量范圍中提供極快的漏率響應(yīng)。通過結(jié)合高速氦氣抽吸和高進(jìn)氣口壓強(qiáng)的**真空結(jié)構(gòu)，UL1000FAB氦氣檢漏儀提供的****的漏率低達(dá)< 5×10^-12毫巴·升/秒。**軟件I-CAL（智能漏率計(jì)算法）讓您忘記在低漏率范圍檢漏時(shí)較長反應(yīng)時(shí)間的煩惱，因?yàn)閁L1000能夠?qū)λ新┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。

可選配的遙控器RC1000WL允許距離為100米時(shí)超過8小時(shí)的無線作業(yè)。該單元配置一個(gè)3.5″的豐彩觸摸顯示屏并具備直觀的操作特點(diǎn)。連接2個(gè)或多個(gè)檢漏儀的RC1000C有線型和無線遙控手柄用于完成產(chǎn)品組合。

使用額外的TC1000測(cè)試盒附件，UL1000FAB氦氣檢漏儀為密封產(chǎn)品提供簡(jiǎn)單、快速、精確的測(cè)試，如IC包裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù)MilStd883，方法1014）。

特征概覽

• 15級(jí)的寬測(cè)量范圍
• 較短的抽氣和響應(yīng)時(shí)間
• 移動(dòng)式全金屬外殼為**可操作性提供了額外便利性
• I-CAL確保了所有測(cè)量范圍中泄漏的*快響應(yīng)時(shí)間
• 抑零功能和自動(dòng)積分時(shí)間校正提供快速、可靠的測(cè)試結(jié)果
• 含堅(jiān)固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計(jì)提供高速氦氣抽速和高壓縮比
• 旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許該單元的簡(jiǎn)單、輕松控制和交互作用
• 自保護(hù)功能可防止UL1000Fab氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
• 自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保隨時(shí)可用性
• 通過電子郵件進(jìn)行軟件升級(jí)
• 含兩個(gè)燈絲離子源（3年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長的運(yùn)行時(shí)間和較低的維護(hù)成本
• 內(nèi)部校準(zhǔn)用的內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔確保了精確的測(cè)試結(jié)果
• 內(nèi)置軟件菜單“自動(dòng)測(cè)漏”功能可使用TC1000測(cè)試盒執(zhí)行密封部件的自動(dòng)測(cè)試
• 可選RC1000遙控器

應(yīng)用

• 半導(dǎo)體加工工具上的維護(hù)工作
• 工藝氣體系統(tǒng)的檢測(cè)和安裝
• 部件檢漏
• 需高泵抽速、高靈敏度和清潔測(cè)試條件的應(yīng)用