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技術(shù)參數(shù)：

大范圍高精度掃描探針顯微鏡 安捷倫5500LS

Specifications

Stage

- Standard vacuum chuck size: 150 mm

- Sample thickness: up to 35 mm

- Examination area: 150 mm x 150 mm

- Fully motorized， controlled optics

- Optical resolution: 2 μm

Compatibility

- Compatible with Agilent 5 series family

of products and all AC modes

- Compatible with multi-purpose scanners

- Compatible with CSAFM， STM， and EFM/MFM

- Compatible with imaging in air and fluids， including but not limited to life sciences，

electrochemistry， and corrosion applications

- Compatible with temperature control (-30oC to 250oC)

S c a n n e rs

Large Scanner

- Scanning range: 100 μm x 100 μm

- Z range: 7 μm

- Vertical noise: 0.5Å RMS

Small Scanner

- Scanning range: 10 μm x 10 μm

- Z range: 2 μm

- Vertical noise:<0.1Å RMS

主要特點(diǎn)：

安捷倫大樣品臺(tái)原子力顯微鏡可以快速、準(zhǔn)確地實(shí)現(xiàn)針尖定位和樣品定位。高精度的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)能幫助您自動(dòng)準(zhǔn)確定位到您感興趣的區(qū)域，同時(shí)帶有記憶功能，可以自動(dòng)迅速而準(zhǔn)確地回到原來每個(gè)樣品表面成像的位置，便于進(jìn)行更多的深入研究。同時(shí)5500LS能很好地滿足大樣品在空氣、液體和溫度控制下成像。

優(yōu)勢(shì)

* 自動(dòng)的光學(xué)縮放與聚焦，使用簡(jiǎn)單方便

* 大范圍內(nèi)準(zhǔn)確定位，分辨率優(yōu)于2µm

* 150mm真空吸盤（標(biāo)準(zhǔn)），可安放6英寸晶片

* 可提供8英寸大夾具的選件，以適應(yīng)更大的樣品尺寸

應(yīng)用

* 半導(dǎo)體：Si晶片、器件

* 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)材料：CDs、DVDs、硬盤等等