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Q150V PLUS 系列全自動超精細鍍膜儀

Q150V Plus是一款高真空應(yīng)用的超精細鍍膜設(shè)備，其極限真空度為1x10-6mbar。 結(jié)合使用寬量程潘寧規(guī)和皮拉尼規(guī)，可以濺射具有超細成膜顆粒尺寸的易氧化金屬，適用于高分辨率成像。 更低的背底負壓去除了腔室中的氧氮和水汽，避免在濺射過程中發(fā)生化學反應(yīng)以及在鍍膜過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)或缺陷。 同樣地，較低的散射可得到高純而致密的無定形碳膜。 Q150V Plus除具有Q150T Plus的所有優(yōu)點外，還可獲得更細成膜顆粒尺寸和更薄的膜，適用于超高分辨率應(yīng)用（放大倍數(shù)高于200，000倍）。

使用Q150V E & ES Plus進行碳棒蒸鍍；使用Q150V S & ES Plus濺射貴金屬和易氧化金屬，適合SEM應(yīng)用。

推薦放大倍數(shù)：

? up to x 50k using Au 鍍金可達5萬倍

? up to x 100k using Pt 鍍鉑可達10萬倍

? above x 100k using Cr， Ir 鍍鉻、銥可達10萬倍以上

非常適合薄膜應(yīng)用，例如鍍ITO， W， Al， Zn

推薦應(yīng)用：

? 超高分辨率放大SEM應(yīng)用

? TEM載網(wǎng)鍍碳

? FIB保護性鉑層

? 腐蝕，摩擦和磨損保護層的研發(fā)

? 醫(yī)療設(shè)備上的保護層

? BSE 成像

? EDX， WDS， EBSD 分析

? 碳復(fù)型膜

? 納米技術(shù)，如：沸石，聚合物納米刷

Q150V Plus功能特點：

1）全新升級的的用戶界面：

? 電容式觸摸屏靈敏度高，更易觸控使用

? 用戶界面軟件已廣泛更新，使用現(xiàn)代智能手機界面技術(shù)

? 上下文相關(guān)的全面幫助頁面

? USB接口可輕松進行軟件更新，也可將鍍膜程序文件備份/復(fù)制到U盤

? log文件可通過USB端口導(dǎo)出，文件格式為.csv，便于在Excel或類似軟件中分析，log文件包括日期、時間和工作參數(shù)。

? 16GB的閃存可儲存超過1000條鍍膜程序；雙核ARM處理器，可實現(xiàn)快速響應(yīng)的顯示。

2）允許多用戶輸入和儲存鍍膜參數(shù)程序，新功能可根據(jù)*近的使用情況來排列每個用戶的程序。

3）智能邏輯系統(tǒng)自動識別插入頭，并顯示相應(yīng)的操作設(shè)置和控制。

4）系統(tǒng)提示用戶確認靶材，然后自動為該材料選擇適當?shù)膮?shù)。

5）直觀的軟件允許生手或偶用者快速輸入和存儲其處理參數(shù)。 為方便起見，系統(tǒng)已存儲一些典型的濺射和鍍碳程序，也允許用戶創(chuàng)建自己的操作程序。

6）如果軟件檢測到在一段時間內(nèi)無法達到一定真空，在真空泄漏的情況下會終止程序，以防真空泵過熱。

7）可互換的鍍膜插入頭：允許用戶將系統(tǒng)配置為濺射鍍膜儀、蒸發(fā)或輝光放電系統(tǒng) - 所有這些都是在一臺設(shè)備中，節(jié)省空間。 碳繩可選碳繩蒸發(fā)。更換插件時自動檢測鍍膜插頭類型。

8）可拆卸腔室，設(shè)有防爆罩：可拆卸式玻璃腔室，容易清潔底座和頂板。如有必要，用戶可以快速更換腔室，以避免敏感樣品的交叉污染。高腔室選項可用于碳蒸發(fā)，避免樣品過熱，提高濺射的均勻性和承載較高尺寸的樣品。

9）多種樣品臺可選：Q150V Plus具有可滿足大多數(shù)要求的樣品臺。 所有樣品臺都易于更換、插入式（無螺絲）和高度可調(diào)（旋轉(zhuǎn)行**除外）。

10）Q150V Plus符合行業(yè)CE標準

11）具有“適合TEM應(yīng)用的全自動、厚度可控的碳棒精細蒸發(fā)”、“磁控冷濺射”、“脈沖清潔用于濺射Al”等獨特技術(shù)。

Q150V Plus具有三種型號：

1）Q150V S Plus全自動濺射鍍膜儀，可濺射易氧化金屬，實現(xiàn)超精細鍍膜，可濺射的靶材包括鉻、銥和所有貴金屬。

2）Q150V E Plus全自動蒸發(fā)鍍碳儀（碳棒、碳繩），適合TEM應(yīng)用，用于TEM柵網(wǎng)鍍碳。

3）Q150V ES Plus是集成了離子濺射和熱蒸鍍兩種鍍膜方式的一體化鍍膜系統(tǒng)，鍍膜頭可在數(shù)秒內(nèi)更換，可選金屬蒸發(fā)/光闌清潔。

Q150V Plus是Quorum Technologies出品的國際認可的Q系列鍍膜儀的一部分，全球數(shù)千家客戶使用此類鍍膜儀。Q系列旨在為SEM、TEM和薄膜應(yīng)用提供高質(zhì)量的鍍膜解決方案，Q系列功能多樣、價格合理且易于使用。

主要操作性能：

1）離子濺射：濺射電流可設(shè)范圍寬，至預(yù)設(shè)厚度（需選用FTM）終止或定時終止?？稍O(shè)濺射時間寬，無需破真空，自動內(nèi)置冷卻占空比。

2）蒸鍍：可用碳棒（可選碳繩）蒸鍍碳膜；選用鎢籃或鉬舟進行金屬熱蒸發(fā)；選用標準鉬舟清潔TEM光闌

3）可視化狀態(tài)指示

大而多色的LED指示燈，使用戶在一定距離就可輕松識別過程狀態(tài)。指示燈可顯示以下狀態(tài)：

◆ 初始化中 ◆ 程序運行

◆ 空閑狀態(tài) ◆ 正在鍍膜

◆ 程序完成 ◆ 故障停機狀態(tài)

程序完成后音頻聲音提示。

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