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01參數 

1.激光波長200-1064nm 

2.激光頻率：納秒/皮秒/飛秒 

3.***小線寬10-50μm 4.加工面積大于100*100mm 5.重復精度±5μm 

02結構&功能

結構：主要由大理石直線電機機架、 頂升輸送帶、激光光路模塊、除塵系 統、CCD相機找正、氣缸自動門及外 框和氣浮系統組成。 

功能：使基片實現輸送、找正定位、 夾緊、并進行激光刻蝕配合氣浮及除 塵等一整套的動作

03定制服務 

1.視覺系統 

2.光路可微調，間距可變 

3.激光頻率、加工面積 

4.其他