線性壓電納米位移臺MF40-25A，緊湊結構支撐下的超大行程，軟件簡單易用，亞納米級別開環分變率，真空兼容可達10^-5Pa。支持定制納米位移臺。

不同于傳統的微米級別行程，納米位移臺擁有超大運動行程。大運動行程可以替代傳統的大范圍運動加不范圍補償的運動方案，從而使設計 結構更加緊湊，運動控制更加簡單。




納米位移臺配套操作簡單，隨時調整XY軸觀測位置，電子屏顯示，實時反饋數據，數據定位準確，且帶有高精度及高分變率的位置反饋。

產品優勢

• 結構緊湊，高剛性

• 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統

• 室溫到液氦工作溫度，真空兼容

• 壓電陶瓷促進器具有超長使用壽命

• 帶位移傳感器，提供位置和速度閉環控制

產品應用

電子顯微鏡原位納米探針臺，半導體芯片檢測，光刻機工件臺，微生物操縱手，光纖焊接