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ETD-800 型全自動等離子濺射儀外觀亮麗做工精致，

機箱大小僅有310mm x 260mm x 115mm。

ETD-800小型離子濺射儀是專門為掃描電子顯微鏡用戶設計的全自動鍍膜設備；

操作簡便，放入樣品后可一鍵搞定；數字式計數器滿足精準定時要求。

特別適用對膜顆粒大小要求高的場發射掃描電子顯微鏡。

具有成膜均勻，操作簡單，所需時間短，過程可控等優點。

可以使用Au，Pt，Cr、Al、Cu等靶材。

配有高位定性的飛躍真空泵

參數：

主機規格：260mm×307mm×260mm（W×D×H）

電源規格：220V(可做110V)，50HZ

靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）

靶材：Au（標配），也可根據實際情況配備銀靶、鉑靶等。

真空樣品室： 硼硅酸鹽玻璃 115mm×100mm（D×H）

定時器： *長時間：3600S

機械泵： 1L/S

**電壓： -1200 DCV

特點：

1、同時可以通過更換不同的靶材（金、鉑、銀等），以達到更細顆粒的涂層。

2、一鍵式操作，使用方便。

3、真空保護可避免真空過低造成設備短路。

需要鍍膜的樣品

1、電子束敏感的樣品:

主要包括生物樣品，塑料樣品等。S EM中的電子束具有較高能量，在與樣品的相互作用過程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對電子束敏感的材料，那這種相互作用會破壞部分甚至整個樣品結構。這種情況下，用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護層的作用，防止此類損傷；

2、非導電的樣品:

由于樣品不導電，其表 面帶有“電子陷阱”， 這種表面上的電子積累 被稱為“充電”。為了 消除荷電效應，可在樣 品表面鍍一層金屬導電 層，鍍層作為一個導電 通道，將充電電子從材 料表面轉移走，消除荷 電效應。在掃描電鏡成 像時，濺射材料增加信 噪比，從而獲得更好的成像質量。

3、新材料:非導電材料和半導體材料