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技術(shù)參數(shù)及要求：

基片尺寸：Φ5-Φ100mm 圓片，ZUI大100×100mm2 方片

轉(zhuǎn)速：250-9000RPM

旋涂設(shè)置：任意階段之間均可任意升降調(diào)節(jié)

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：<±1%

旋涂均勻性：<1%

旋涂工藝階段：6 段

旋涂時間：單步工藝0-1800s，可根據(jù)客戶需求調(diào)節(jié)

整機(jī)尺寸（長寬高）：210mm×280mm×248mm

裸機(jī)尺寸（長寬高）：210mm×280mm×155mm

電機(jī)功率：40W

適應(yīng)材料：硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等各種材料

配套無油真空泵參數(shù)：

型號：KW-550A/KW-550T

抽速：1.5 升/秒

功率：320W

噪音：50db

ZUI低真空度：-700mmHg

重量：7.3Kg

尺寸(長寬高)：240mm×160mm×230mm

抽氣速率：>60L/min