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高頻等離子表面處理裝置

■ 操作性·功能

● 射頻13.56Mhz 0-500W高功率機(jī)型，發(fā)生器自動匹配，無需調(diào)節(jié)反射波，進(jìn)一步增加的操作的便捷性。

● 標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)字式皮拉尼傳感器，實時顯示真空度，使得控制更為精確。

● 一體成型鋁制腔體，腔體材質(zhì)結(jié)實可靠而且無需擔(dān)憂因為腔體材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?/span>

■ 安全性·保護(hù)

● 標(biāo)準(zhǔn)裝備自我診斷功能，可實時監(jiān)測和了解機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。

● 裝載有過電流漏電保護(hù)開關(guān)、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。

■ 產(chǎn)品優(yōu)勢

●DP和RIE模式標(biāo)準(zhǔn)配備即可利用等離子的化學(xué)性質(zhì)又可以有效利用

其物理性質(zhì)，工藝應(yīng)用范圍更加廣泛。。

●原則上所有材質(zhì)的樣品都可以進(jìn)行清洗，對清洗樣品材質(zhì)沒有要求。

●液晶觸摸屏控制，操作簡單方便。

●標(biāo)準(zhǔn)配備產(chǎn)生等離子均勻性很好的平行平板電極。

●標(biāo)準(zhǔn)裝備多種安全功能，安全措施綿密。

■用途

●CSP\BGA\COB基板等離子清洗

●去除有機(jī)膜和金屬氧化膜

●印刷電路基板的干式清洗

●材料表面活化處理

●LDE封裝

■構(gòu)成圖

■規(guī)格