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高頻等離子表面處理裝置

■ 操作性·功能

● 射頻13.56Mhz 0-1000W高功率機型，DP和RIE標(biāo)配的雙模等離子清洗機，可對應(yīng)更多復(fù)雜工藝.

● 標(biāo)準(zhǔn)配備電離式真空計，實時顯示真空度，使得控制更為精確。

● 液晶觸摸屏控制，操作使用簡單，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單。

■ 安全性·保護

● 標(biāo)準(zhǔn)配備真空泄漏檢測功能，可以根據(jù)需要檢查設(shè)備的真空以及泄漏情況。

● 裝載有過電流漏電保護、真空泵、RF發(fā)生器，以及電源各部分均標(biāo)準(zhǔn)配備過電流漏電保護裝置。

● 發(fā)生器保護回路：超負荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問題時，可自動調(diào)低頻率來保護發(fā)生器。

● 門鎖開關(guān)：門在未完全關(guān)閉時無法啟動電源。

● 側(cè)板鎖：本體側(cè)板突然打開或者未關(guān)好時，會停止電源。

● 緊急停止按鍵（EMO）標(biāo)準(zhǔn)配備。

● 當(dāng)裝置發(fā)生異常時，裝置本體發(fā)出警告信號的同時，進行以下動作1）關(guān)閉主閥。（2）關(guān)閉供氣閥。（3）停止輸出振蕩器。(4)停止處理時間。（5）聲光報警

■ 產(chǎn)品優(yōu)勢

●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應(yīng)用范圍廣。

●DP&RIE雙模處理，可對應(yīng)更復(fù)雜的工藝。

●搭載高精度適配器，高性能RF電源。

●可變電極構(gòu)造提高等離子處理效果。

●安全保護措施綿密，有效防止對機器以及樣品的損害。

●可根據(jù)需求的具體情況提供產(chǎn)品定制服務(wù)。

■ 技術(shù)規(guī)格