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離子濺射儀sputter coater 108AUTO

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廣州競贏化工科技有限公司

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產(chǎn)品介紹

108Auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的離子濺射儀,特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。108auto離子濺射儀的樣品室直徑為120 mm,樣品臺(tái)的高度可以任意調(diào)節(jié),同時(shí)還帶有高效的直流磁控濺射頭和獨(dú)立的真空控制系統(tǒng),能充分滿足客戶的多種需求。

主要特性

  • 自動(dòng)的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和zui佳的導(dǎo)電噴鍍效果。

  • 通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程,避免樣品表面受損。

  • 操作容易快捷,可全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行噴鍍操作,控制的參數(shù)包括自動(dòng)放氣以及氬氣換氣控制。

  • 在自動(dòng)模式下,可通過兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過程。可通過數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果,

  • 通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)在達(dá)到設(shè)定膜厚時(shí)停止噴鍍過程。

  • 可用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)手動(dòng)停止噴鍍過程。

  • 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和zui佳的鍍膜效果。

  • 可使用多種金屬靶材:Au,Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標(biāo)配),靶材更換快速方便。

技術(shù)參數(shù)
樣品室大小 直徑120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75")
靶材 Au 靶為標(biāo)配,Au:Pd, Pt, Pt:Pd (選件);大小:直徑57mmx 0.1mm厚
樣品臺(tái) 可以裝載12個(gè)SEM樣品座,高度可調(diào)范圍為50mm
濺射控制 微處理器控制,安全互鎖,可調(diào),zui大電流40mA,程序化數(shù)字控制
濺射頭 低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩
模擬計(jì)量 真空:Atm - 0.001mbar
厚度監(jiān)控

(選件)

使用MTM-20高分辨厚度控制儀(選件)自動(dòng)終止濺射過程,或使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀(選件)手動(dòng)終止濺射過程
控制方法 自動(dòng)氣體換氣和泄氣功能,自動(dòng)處理排序,帶有“暫停”控制的數(shù)字定時(shí)器(0-300s),自動(dòng)放氣
桌上系統(tǒng) 真空泵可置于抗震臺(tái)上,全金屬集成耦合系統(tǒng)

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