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高真空電子束蒸發薄膜沉積系統--EB900

高真空電子束蒸發薄膜沉積系統--EB900

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中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司

遼寧

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

沈陽科學儀器

型號:

高真空電子束蒸發薄膜沉積系統--EB900

關注度:

546

產品介紹

產品概述:
系統主要由蒸發室、主抽過渡管路、旋轉基片架、光加熱系統、電子槍及電源、石英晶體振蕩膜厚監控儀、工作氣路、抽氣系統、控制系統、安裝機臺等部分組成,體現立方整體外觀,適用于超凈間間壁隔離安裝,操作面板一端處在相對要求較高超凈環境,其余部分(含低溫泵抽系統)處在相對要求較低超凈環境。

設備用途:
本系統配有一套電子槍及電源,可滿足在Al,Ni,Ag,Pt,Pd,Mo,Cr和Ti等多種金屬和介質膜基片上均勻沉積多層膜的需要。

產品咨詢

高真空電子束蒸發薄膜沉積系統--EB900

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