粉體行業在線展覽
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電子回旋共振等離子體（ECR）系統
直接聯系
成都華宇東升微波設備有限公司
四川
面議
華宇東升
電子回旋共振等離子體（ECR）系統
447
性能特點：
?具有無熱陰極、電離度高的特點 ?具有可忽略放電室壁的散射的特性 ?能在低真空度下工作 ?設備性能穩定，使用壽命長 |
主要技術參數：
微波源輸出功率 | 260W － 1500W |
| 極限真空度 | ≤5×10-5Pa·m3/s |
| 氣體質量流量控制 | 多路 |
| 工作氣壓 | 1Pa - 200Pa |
| 磁場強度 | 0 - 1000高斯可調 |
| 偏壓 | 0V - 300V |
MPCVD設備培育的CVD晶種
高穩定程控微波源
微波傳輸系統
微波等離子體火炬（MPT）
微波等離子體源
電子回旋共振等離子體（ECR）系統
微波等離子化學氣相沉積（MPCVD）系統 —— C型
微波等離子化學氣相沉積（MPCVD）系統 —— B型
微波等離子化學氣相沉積（MPCVD）系統 —— A型
TEM 熱、電、氣、液、冷凍樣品桿
X-300 X-FLUXER? 三位全自動熔片儀
合金分析儀
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其他
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