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量產型半自動/全自動探針臺

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深圳市森美協爾科技有限公司

產品規格型號

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產品介紹

量產型半自動/全自動探針臺
型號	SA-6/SA-8/SA-12	外形	1500（長）1700（寬）1100(高)
重量	1700kg	電力需求/功率	220VAC±10V/50Hz/2.2KW
規格參數	能夠測試的晶圓直徑	6,”8”,12”
	晶圓厚度	300≤T≤1000um（標準） 300≧T(薄片機型）
	晶圓厚度偏差	50um
	Index time	300ms(標準速度， die尺寸 10mm , 包括Z上下0.3mm移動的時間)
	Chuck 具備5軸移動機構	（X/Y/Z/theta/F）
	X-Y軸行程	380mm, **速度300mm/s, 分辨率0.1um
	XY全行程機械定位精度	±2um（環境溫度在±1°以內波動時）
	XY**速度	300mm/s
	Chuck平面度	≤5 um
	Z軸行程	37mm，探針分離高度0.3mm,速度30毫秒/0.3mm
	Z軸移動解析度	0.1um
	Z軸定位精度	±2um
	Theta 軸	±5°/0.0001°
	光柵尺	0.1um光柵尺
	預對位平臺	光學原理檢測，平邊或者notch ±1°定位精度
	晶圓機械手	陶瓷機械手，cassette *1
	晶圓裝載單元	一個升降單元，預對位單元，晶圓傳輸子單元以及他們的接口
	自動對位系統	自動水平掃描、自動**測試點定位、自動測試中心定位
	自動上下片系統	料盒安全保護、晶圓定位邊預對準
	精確對位單元	pattern matching
	位移傳感器	采用靜電容傳感器，分辨率 2um （option)
	照明	同軸鹵素燈照明或LED光源
	視場	低倍情況：4.93.6mm 中倍情況：10.72mm 高倍情況：0.49*0.36mm
	PC配置	I5CPU，4G內存，128G固態硬盤等
	LCD 顯示器	對位顯示為黑白，其他顯示為彩色，中文
	鍵盤	單元大小 15*15mm, 46 字母數字
	報警器(三色燈)	紅，黃，綠
	操作場地要求	2200mmX2200mm
	操作界面	Windows中文操作界面，中文MAPING動態顯示
	標記	上下標記，標記可以實時或者離線標記，標記耗時15~300ms，采用ink或者Laser
	可以采用的cassette形式	FOUP 12/8/6”(13或者25片)；light FOUP 12/8/6”(13或者25片)，12/8/6” open cassette
可選附件	自動磨針臺	可以兼容高頻測試頭	晶圓ID 識別功能
	可以匹配自動晶圓盒取放設備（AGV or OHT）		直接和晶圓傳輸控制電腦或者服務器通訊
	FOUP(front open unified Pod)有別于普通open cassette , 帶有潔凈氣體單元（mini environment），可以在晶圓傳輸過程保持潔凈在Class100潔凈室里面，探針臺內部可以達到Class 1“主體包括：控制盒，TTL，RS232，GBIP測試機接口

特點
超高的測試精度和超快測試速度			自動alignment/找晶圓中心/測量diesize
支持單點測試和連續測試			功能豐富的測試軟件
便捷的儀器接入			可升級自動wafer厚度測量和ID讀卡