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儀器簡介：

HPR-80(Quantitative Gas Analyser for Reactive / Corrosive Species)是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導體、真空過程研究而設計的儀器，快速、定量分析活潑性、腐蝕性氣體混合物。

應用：

· 等離子體/反應性離子蝕刻研究

· CVD / PVD / MOCVD

· 半導體晶片加工研究

· 真空、等離子體過程

· 活性物質定量分析

· HF，HCl，HBr，CFC 研究

主要特點：

· 加熱的電拋光波紋管，快速偶合連接器

· 可清除的，帶粘性流QIC校正的進樣口用于定量分析

· 高靈敏度至 5 ppb， 質量數可至2500 amu.

· 進樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓

· 電容壓力計，壓力檢測可不受分析物影響

· 穩定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )

· 軟件 MASsoft 控制

· 矩陣反演，歸一化及單峰參考