粉體行業在線展覽
面議
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儀器簡介:
IMP離子蝕刻探針(Ion Milling Probe),自帶差式泵,堅固的二次離子質譜儀,適于分析離子蝕刻過程中的二次離子和中性粒子.
獨有的專業終點檢測(End Point Detection)儀器,用于離子蝕刻控制以及過程質量**化監測.
技術參數:
應用:
• 終點檢測(End Point Detection)
• 靶的純度鑒定
• 質量控制/ SPC.
• 殘余氣體分析
• 泄漏監測
主要特點:
特點:
• 高靈敏度的 SIMS/MS,帶脈沖離子計數檢測器
• 三級過濾四極桿,標準配置質量數為300 amu
• 差式泵歧管,經連接法蘭,接到過程室
• 離子光學器件,帶能量分析器和內置離子源
• Penning規和互鎖裝置,以提供過壓保護
• 數據系統與過程控制工具整合
• 穩定性(24h以上,峰高變化小于 ±0.5%)
• 通過 RS232、RS485或以太網, 軟件MASsoft控制
• 程控DDE, 平行數字式I/O, RS232通訊
BELMASS II
BSD-MASS
Master 400
EXPEC 5231
BELMASS
ZQJ-3000型
L600
HESZKAT800
ICP-MS 2000系列
DEMS
Master 400 質譜儀