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特色

紅外加熱式熱脫附質譜儀TDS1200Ⅱ是利用質譜儀在超高真空中，通過程序升溫實時觀察樣品脫附逸出的化合物。由于在超真空中量測，即使微量的水、氫、CO2，也可以被檢測，對于從樣品中脫附的分子，可以定性及定量化學物質。還可以獲得脫附氣體的吸收/結合狀態和擴散過程等信息。適用于容易進行紅外線加熱的測量，例如薄膜樣品和具有薄片形式的樣品。
 

Load Lock Chamber樣品預載腔體
Load Lock Chamber樣品預載腔體是實現高靈敏度、高效率(高通量)測量的關鍵技術。我們的傳送腔體和樣品轉移機制，可以在超高真空下僅將樣品快速插入分析室。 如果沒有預載腔體，則每次更換樣品時都必須將分析室暴露在大氣之下。分析室暴露于大氣之下會吸入大量空氣(主要是水)，需要長時間抽真空才能恢復到合適的真空度。
 

QMS游離腔

為了以高靈敏度檢測熱脫附的氣體，QMS游離腔直接設計在樣品上方。樣品正上方的位置利于樣品熱脫附的氣體直接到達QMS游離腔，從而能高度靈敏地檢測易于沉積的金屬或高分子量的有機化合物。