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1. 應用領域

本產(chǎn)品主要用于碳化硅晶片等的精磨拋光。

2. 產(chǎn)品特點

(1)產(chǎn)品搭配專門的碳化硅精磨墊使用達到高去除率，提升效率；

(2)精磨加工后的碳化硅晶片表面質(zhì)量高（粗糙度，劃傷，亞表面損傷層等參數(shù)）；

(3)水溶性載體配方，具有較好清洗性能；

(4)產(chǎn)品的懸浮穩(wěn)定性好；

(5)產(chǎn)品相較于常規(guī)的水基配方，潤滑性能更優(yōu)。