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1：產品優勢

（1）可以實現磁控、PECVD、熱絲、 離子輔助和多弧復合；

（2）適合制備碳膜、陶瓷和金屬厚膜；

（3）適合高溫、長時間工藝模式；

2：應用領域

（1）刀具、模具；

（2）汽車零部件減磨和耐腐蝕；

（3）高端軸承涂層；

（4)高端雙極板涂層制備。

3：技術參數

（1）PVD兼容PECVD工作模式。單室裝爐量50-100片，1爐/4小時；半連續線模式，1片/分鐘。

（2）技術指標：1.5MPa，接觸電阻小于3mΩ；300mV 80℃腐蝕電流0.2μA。

每爐100片，4小時/爐。

工作產量：12萬片/年以上。

三、商業模式：

1：OEM代工涂層加工；

2：設備定制和工藝支持；

3：合資辦廠。