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1、無刷伺服電機驅動，保證設備穩定可靠及潔凈度要求。

2、 迷宮式氮氣密封，腔內與腔外隔離，無接觸式密封效果，確保工藝環境要求。

3、 采用PTFE 氣控閥組件，PVDF 管路及接頭。

4、采用316L 不銹鋼材質，表面電解拋光處理。

5、沖洗，吹凈，吹干，烘干功能，利用高速旋轉離心力，把殘留附著化學試劑及顆粒塵埃甩除，

同時潔凈氮氣把殘留顆粒塵埃帶走，使產品表面潔凈干燥潔凈。

6、靜電消除功能，產品高速運動時會產生靜電，利用高壓除靜電裝置使產品表面達到中和狀態。

7、機械自復位功能，停機待機片盒朝上。

8、氮氣壓力，門密封狀態，片盒朝上等條件保護。

9、 控制單元獨立控制，獨立運行，操作簡單，維修方便。