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雙傾角約瑟夫森結(jié)制備系統(tǒng)

QBT-J

直接聯(lián)系

廈門韞茂科技有限公司

福建

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

韞茂科技

型號：

QBT-J

關(guān)注度：

2138

創(chuàng)新點：

約瑟夫森結(jié)超高壓系統(tǒng)：超高真空設(shè)計，真空互聯(lián)傳輸平臺，專為量子計算、超導(dǎo)應(yīng)用而生。

產(chǎn)品介紹

全自動四腔超高真空雙傾角鍍膜系統(tǒng) QBT-J

四腔體.jpg

約瑟夫森結(jié)超高壓系統(tǒng)

全自動四腔超高真空雙傾角鍍膜系統(tǒng)專專業(yè)制備約瑟夫森結(jié)制備，可精確生長所需的金屬層和氧化絕緣層，確保高性能制備及高成品率；此鍍膜儀有進(jìn)樣室、氬離子清洗室、電子束蒸發(fā)室以及氧化室，共計四個高真空腔室，腔室間使用傳樣桿進(jìn)行高真空傳樣，傳遞模組須采用抓取式設(shè)計；設(shè)備所有工藝均支持4英寸及以內(nèi)的晶圓或不規(guī)則樣品。設(shè)備整個工藝過程，可以完全按照用戶設(shè)置的參數(shù)自動化運行，工藝流程包括并不限于：抽真空，監(jiān)測氣壓，離子清洗，樣品位置調(diào)節(jié)、傳樣，加熱，電子束蒸發(fā)特定厚度設(shè)置，自動調(diào)整氣壓等。

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技術(shù)參數(shù)

QBT-J 技術(shù)參數(shù) Technical Specifications (雙傾角約瑟夫森結(jié)制備）
超高真空腔體 UHV Chamber	4個UHV Chamber,包括Loadlock/Aneal, Ion Milling, Ebeam-Evaporation, Oxidation, 極限真空Ultimate Pressure<1E-9Torr
基板加熱 Wafer Heating	RT-900℃
離子束清洗 Ion Milling	考夫曼離子源, Ion Energy 100-600eV, 100-1200eV, Ion Beam Current:20-200mA, Ф100基板刻蝕均一性<3%
電子束蒸發(fā) Ebeam Evaporation	UHV 5 Linear Pocket Ebeam Evaporation Source, 8KW Power Supply
氧化 Oxidation	Flow and Static Mode Oxidation
基板操控能力 Wafer Tilt and Rotation	可實現(xiàn)180度傾斜及360度旋轉(zhuǎn)，0.1度的精準(zhǔn)控制
基板傳輸 Wafer Transfer	高度可靠和可重復(fù)的基板傳輸能力
人機界面 HMI	全自動化人機操作界面
安全Safety	工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)安全互鎖Industry Safety Interlock，報警Alarm，EMO

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產(chǎn)品咨詢

雙傾角約瑟夫森結(jié)制備系統(tǒng)

QBT-J

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