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雙腔型高真空高速蒸鍍系統(tǒng)

QBT-I

直接聯(lián)系

廈門韞茂科技有限公司

福建

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

韞茂科技

型號：

QBT-I

關注度：

1625

創(chuàng)新點：

產(chǎn)品詳情：上下雙腔,集表面處理與蒸發(fā)鍍膜為一體,高效可靠的Indium蒸鍍助手。

產(chǎn)品介紹

QBT-I 雙腔室高真空高速蒸鍍系統(tǒng)


微信圖片_20220223154559.jpg

產(chǎn)品詳情：


上下雙腔,集表面處理與蒸發(fā)鍍膜為一體,高效可靠的Indium蒸鍍助手。


技術參數(shù)


QBT-I 技術參數(shù) Technical Specifications (Indium Bump等制備)
高真空腔體 HV Chamber2個HV腔室，Loadlock離子束刻蝕及蒸鍍，極限真空Ultimate Pressure<3E-8Torr
排氣速率Pumping Spead從ATM到8E-7Torr<15min (loadlock)
極限蒸發(fā)速率 High Depostion Rate5-12nm/s (Indium), Ф100基板鍍膜均一性<3%, 大容量坩堝
精準的樣品冷卻控制 Wafer Cooling-10-40℃ (精度±0.1）
離子束清洗 Ion Milling考夫曼離子源, Ф100基板刻蝕均一性<3%
人機界面 HMI全自動化人機操作界面
安全Safety工業(yè)標準安全互鎖Industry Safety Interlock，報警Alarm，EMO


測試結(jié)果


微信圖片_20220223154605.jpg

產(chǎn)品咨詢

雙腔型高真空高速蒸鍍系統(tǒng)

QBT-I

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