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氮化硅陶瓷基板爐
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湖南維尚科技有限公司
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維尚科技
氮化硅陶瓷基板爐
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產品介紹
氮化硅陶瓷基板爐具有高穩定性、高人性化、低維護的特點，采用非接觸式高溫測量、真空系統過濾保護、獨特尾氣處理設計。主要用于氮化硅流延基板先進材料等進行真空，脫氣、加壓致密化等，廣泛應用于航天航空、電子電器半導體等領域。
產品參數
| 裝料空間（W*H*L） | 600*600*1400 |
| 溫度均勻性 | ≤±4℃ |
| **工作溫度 | 2200℃ |
| **工作壓力 | 2MPa |
