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6英寸半導(dǎo)體級(jí)單晶爐

拉晶過(guò)程全程自動(dòng)化

在惰性氣體環(huán)境中，用石墨加熱器將硅材料熔化，

用直拉法生長(zhǎng)無(wú)位錯(cuò)單晶的設(shè)備。

性能優(yōu)勢(shì)

設(shè)備主體結(jié)構(gòu)優(yōu)化，提高了整機(jī)穩(wěn)定性。

具有拉制12英寸COP FREE半導(dǎo)體單晶硅棒的功能。

采用新型隔離閥。

液面高度監(jiān)控系統(tǒng)。

高精度傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。

雙層水冷套、可升降雙層水冷屏。