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下出料管式爐

下出料管式爐

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沈陽中科漢達科技有限公司

遼寧

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

中科漢達

型號：

下出料管式爐

關注度：

12

產品介紹

雙層立式石英管水冷結構提供穩定的長晶環境，利于生長高品質晶體，上下溫度實時精確監控便于工藝調試，采用上下雙測溫精確監控提供更優的工藝調整。

技術參數

生長工藝

PVT

生長尺寸

6-8英寸

產品類型

非標定制

加熱方式

感應加熱（中頻感應加熱）

**溫度

2400℃

控制方式

PLC集成控制

系統極限真空度

≤5.5×10-5 Pa (經烘烤除氣后)

系統真空檢漏漏率

≤5.0×10-7 Pa.l/S

冷卻方式

循環水路系統

系統停泵關機12小時后真空度

≤3Pa


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