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Imina Technologies公司的miBot納米操縱器，是當(dāng)今世界上*小巧的商業(yè)化納米操縱系統(tǒng)，是在光學(xué)顯微鏡、掃描電鏡和FIB聚焦離子束顯微鏡上進(jìn)行微米和納米尺度研究和開發(fā)的通用操縱和測量工具。其技術(shù)特點(diǎn)如下：

· miBot移動(dòng)微機(jī)器人是Imina納米操縱系統(tǒng)的核心部件，采用革命性的系統(tǒng)設(shè)計(jì)。其移動(dòng)方式采用笛卡爾自然坐標(biāo)系統(tǒng)，操縱和控制直觀、靈活。

· miBot移動(dòng)微機(jī)器人采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，具有X/Y/Z/R四個(gè)自由度，移動(dòng)范圍達(dá)幾個(gè)厘米，但移動(dòng)精度可保持在納米量級。

· miBot移動(dòng)微機(jī)器人不用螺絲固定，在光學(xué)顯微鏡樣品臺上、在SEM/FIB真空樣品室中安裝和移出都非常方便，可以在幾分鐘之內(nèi)完成。

· miBot移動(dòng)微機(jī)器人具有很高的機(jī)械穩(wěn)定度和熱穩(wěn)定度，抗外界震動(dòng)干擾能力強(qiáng)。

· Imina提供整體解決方案。可根據(jù)不同的應(yīng)用要求，提供標(biāo)準(zhǔn)或定制的miBot移動(dòng)微機(jī)器人工作平臺，并提供相應(yīng)的測量和控制系統(tǒng)。

miBot納米操縱系統(tǒng)的主要應(yīng)用：

· 納米結(jié)構(gòu)的電學(xué)測量和表征

· 納米結(jié)構(gòu)的力學(xué)測量和表征

· 微米、納米尺度操縱

· 透射電鏡、掃描電鏡、拉曼和其它分析儀器的樣品制備

· 表面科學(xué)實(shí)驗(yàn)和研究

· 納米連接技術(shù)研發(fā)

· 原位納米尺度樣品定位

· 單細(xì)胞操縱

miBot納米操縱系統(tǒng)的主要技術(shù)參數(shù)：

Degreesof freedom 4 (2 translations and 2 rotations)

Dimensions body: 20.5 x 20.5 x 13.6 mm³; arm: 8.3 mm (without micro-tool)

Weight 12 g (without micro-tool)

Operatingrange X and Y: typ. 5 cm (limited by cable); R:± 180°; Z: 42° (arm rotation)

Scanning range X: 440 nm; Y: 250 nm; Z: 780 nm

Speed X and Y: < 2.5 mm/s; Z: < 150 mrad/s

Resolution X: 1.0 nm; Y: 0.5 nm; Z: 1.5 nm

Forcesand torques X and Y: push: 0.3 N， hold: 0.2 N;

Z: lift: 0.7 Nm (5 g)， hold: 0.9 Nm (6 g)

Temperaturerange 273 K to 353 K

Lowestpressure 10^-7 mbar

Electrical probing voltage range: ± 100 V; current: < 100 mA; signal resistance: typ. 3.5 Ohm