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■技術(shù)參數(shù)

分辨率：20nm(30kv，BSE Image)

- 放大倍率:30x ~ 30，000x

- 加速電壓:5 ~ 30kV (5/10/15/20/30kV - 5 step)

■圖像

背散射電子圖像（BSEI），適用于非導(dǎo)體樣品

■規(guī)格

- 樣品移動(dòng)距離

: X: 20mm， Y: 20mm，

Rotation : 360°

- **樣品尺寸: 直徑50mm

-**樣品厚度: 20mm

■系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

- 電子槍: 預(yù)對(duì)準(zhǔn)鎢燈絲

背散射電子圖像

- 真空泵：

旋轉(zhuǎn)式真空泵100L/min

渦輪分子泵80L/S

抽真空時(shí)間2分鐘內(nèi)

■設(shè)備主要構(gòu)成

- 筆記本電腦1臺(tái)

- 電子掃描顯微鏡主體一臺(tái)

- 燈絲5個(gè)

- 載物臺(tái)15mmdia (10pcs/set)

25mmdia (5pcs/set)

15mm45°tilt(5pcs/set)

15mm90°tilt(5pcs/set)