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儀器簡介：

一種能自動實時測量擴散結深的光學測量系統.該系統是對磨槽機在硅片上的磨槽進行測量來獲得擴散結深數據的.

技術參數：

1，測量方式

實時影像測量，無須拍照后測量

2，測量模式

自動測量，無須鼠標取點或取邊

3，統計功能

**值、*小值、平均值、極差、方差、標準差、離散系數等；同時處理多個管制項目；實時顯示統計數據，并可以根據用戶要求增加統計項目

報表系統 采用智能化選擇性數據輸出技術，實現“待測工件→測量參數→專用報告→品管統計”數據流自動化

主要特點：

快速，實時，精確，可靠