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陰極發(fā)光輔助能譜系統(tǒng)

20世紀(jì)60年代早期，隨著電子探針的發(fā)展，開(kāi)始使用特征X射線(xiàn)輻射分析礦物標(biāo)本。這項(xiàng)工作的一個(gè)附屬產(chǎn)品是陰極發(fā)光觀(guān)測(cè)，并迅速成為一個(gè)非常重要的獨(dú)立研究領(lǐng)域，從而促使電子束源向更簡(jiǎn)單、顯微鏡式發(fā)展，使用冷陰極管作為該電子束源。

冷陰極基礎(chǔ)上的陰極發(fā)光儀是能譜分析系統(tǒng)的基礎(chǔ)，正如RELION Ⅲ CL，該類(lèi)型的電子槍用于陰極發(fā)光顯微鏡的附加裝置（ CMA ）中，是基于冷陰極放電原理，相對(duì)電子顯微探針（EMP）和掃描電子顯微鏡(SEM)應(yīng)用*廣泛，簡(jiǎn)單。它還提供了一個(gè)中和的環(huán)境，所以沒(méi)必要使用具有導(dǎo)電涂層的樣品，便于樣品制備。電子轟擊生成陰極發(fā)光的過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生X射線(xiàn)。將X射線(xiàn)檢測(cè)器用于陰極發(fā)光顯微鏡的附加裝置中，結(jié)合陰極發(fā)光和透光觀(guān)測(cè)，提供了快速元素分析這樣一種通用功能。

陰極發(fā)光上使用的能譜系統(tǒng)，基本的分析功能及其探測(cè)范圍等都和其他的EDS系統(tǒng)相同，因?yàn)樗鼈兌家蕾?lài)于電子光源。RELIOTRON陰極發(fā)光設(shè)備安裝緊湊，同時(shí)可以與多種顯微鏡配套使用來(lái)觀(guān)測(cè)陰極發(fā)光及EDS圖譜，同時(shí)用來(lái)輔助對(duì)預(yù)定位置進(jìn)行的分析，從而在樣品測(cè)試時(shí)可以得到圖像、譜線(xiàn)、數(shù)據(jù)更多信息。

陰極發(fā)光儀及能譜系統(tǒng)主要技術(shù)參數(shù)如下:

真空度：**極限為0.25帕，**限度保護(hù)樣品。

電子槍：電子槍是一種水平式冷陰極電子束射線(xiàn)型，高達(dá)30 KV，通常使用在5 KV至25 KV之間調(diào)節(jié)。

陰極電壓：0-30KV，過(guò)壓保護(hù)。

*佳電流：0.15-2mA，連續(xù)可測(cè)，過(guò)流保護(hù)。

聚焦：能夠散聚焦到點(diǎn)聚焦的調(diào)節(jié)功能，電子束光斑可根據(jù)樣品適用要求調(diào)節(jié)。

探測(cè)器類(lèi)型：硅漂移探測(cè)器 (SDD)、尺寸10mm2、硅厚度500μm；(可選)

能量分辨率：*低145 eV（可選）；

信 噪 比: 8200:1

Be窗 厚度： 12.5um、25μm（可選）;

具有以下主要特點(diǎn)：

1：價(jià)格實(shí)惠。

2：操作的高速性。

3：操作和維護(hù)方便和簡(jiǎn)易。

4：采樣準(zhǔn)備工作簡(jiǎn)捷方便。

5：能夠保持良好的光學(xué)顯微鏡的各項(xiàng)能力。

6：對(duì)于采樣的顯微照相處理能夠方便實(shí)現(xiàn)。

7：具備普通透射光（TRL）， 偏振光（POL）， 陰極發(fā)光（CL）以及EDS的聯(lián)合觀(guān)測(cè)能力。