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全自動RCA清洗機
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南軒(天津)科技有限公司
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天津南軒
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1): 采用典型、普遍的濕法清洗方法,使硅片清洗的更徹底;
2): 適用于6-12”晶圓的刻蝕清洗;
3): 適用于半導體、第三代半導體(碳化硅)等領域;
4): 全自動控制,可選擇自動配/補液,保證設備的安全穩定性;
5): 高速移載機械手,伺服驅動控制,保證設備運行平穩,定位可靠;
6): 在線式甩干,保證清洗的潔凈度;
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