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德國Diener研究型等離子清洗機Bell Jar 35

Bell Jar 35 等離子設備是一種研究設備，其專為科學試驗所研發。該設備即適用于熱蒸發，濺射 ，電子束蒸發，SEM（掃描電子顯微鏡）樣品制備的金屬涂層，也適用于傳統的等離子體工藝。

基本設備

。外殼約寬560MMx高1640MMx深620mm

。腔室容積：約35升

。供電電源：230V/16A

氣源

。3個質量流量控制器（MFCs）

真空腔室

。硼硅玻璃材質的玻璃罩，直徑315MMx高500MM

濺射源

。1個濺射源2"-3"+擋板（可為反應過程選配排煙管和進氣口）

基材支架

。直徑140MM（可選擇旋轉型，基材加熱器，基材冷卻裝置）

。可切換為等離子預處現的電極（清洗，活化，蝕刻）

控制系統

。PCCE控制系統（Microsoft Windows XPe）

壓力測量

。Pirani

發生器

。頻率：40KHz， 功率 0-500W

13.56MHz， 功率 0-300W

。直流偏置電源或單極性脈沖，**功率300W，**電壓600V，直流電

。發生器為 0-100% 無級可調型

真空泵

。規格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要）

其它選項

備件套件，壓力計，腐蝕性氣體設計結構，氣瓶，減壓器，加熱板，溫度顯示器，加熱型腔室，Faraday Box， 等離子體聚合配件，試墨水，氧氣發生器，慢速通風裝置，慢速抽吸裝置，TEM樣品架法蘭，維護/服務，當地語言的文件，現場安裝，包括培訓，可應需求提供的其它選項。