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VPG1600海德堡Heidelberg 終級型大尺寸掩膜版生產(chǎn)工具
新型Volume High Generator(VPG)大尺寸圖形發(fā)生器,是海德堡科技在大型光學系統(tǒng)上科技的創(chuàng)新與突破的里程碑。其利用****的技術“寬闊的平行化曝光制程技術”而開發(fā)出來的。
VPG是目前掩膜板大尺寸,大批量生產(chǎn)的可靠而又經(jīng)濟的解決方案,特別適用諸如:需要大量掩膜版的電子封裝產(chǎn)業(yè),彩色濾光片產(chǎn)業(yè),以及其它特別需要大面積,而且高分辨率需求相關產(chǎn)業(yè)。另外,VPG還可以提供優(yōu)異的影像質(zhì)量與注記差異(實際掩膜板與資料的差異)。
VPG 設計有可以搭載多樣化不同尺寸的承載平臺,例如:1600mm*1400mm,1100mm*1100mm,800mm*800mm. 但這些系統(tǒng)都安裝有氣浮裝置,可配置半自動或者全自動的上下版裝置,并且可以選擇**輸出功率20W的UV激光發(fā)射頭。微細化的寫入步距,可以確保優(yōu)越的粗糙度和連接邊界。平臺位置自動校正技術,可以進行優(yōu)異的自我校正,以達到精準的定位效果。
XRD-晶向定位
CVD 真空化學氣相沉積設備
等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)CVD
自動劃片機
BTF-1200C-RTP-CVD
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Pentagon Qlll
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HSE系列等離子刻蝕機