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美TED PELLA 108AUTO 自動離子濺射儀 sputter coater

108Auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。

主要特性

· 自動的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和zui佳的導(dǎo)電噴鍍效果。

· 通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程，避免樣品表面受損。

· 操作容易快捷，可全自動或手動進(jìn)行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動放氣以及氬氣換氣控制。

· 在自動模式下，可通過兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過程。可通過數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果，

· 通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）在達(dá)到設(shè)定膜厚時停止噴鍍過程。

· 可用MTM-20高分辨膜厚控制儀（選件）手動停止噴鍍過程。

· 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和zui佳的鍍膜效果。

· 可使用多種金屬靶材：Au，Au/Pd，，Pt，，Pt/Pd（Au靶為標(biāo)配），靶材更換快速方便。