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瑞士Sawatec勻膠機(jī)SM-150

直接聯(lián)系

深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

瑞士

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
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關(guān)注度:

401

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品詳情

瑞士Sawatec 勻膠機(jī)SM-150:手動(dòng)涂膠的**選擇

勻膠機(jī) SM-150 是手動(dòng)或半自動(dòng)薄膜涂覆的**選擇,適用于表面沒(méi)有或有非常矮形貌的基板涂膠作業(yè)。所有市面上的光刻膠與涂層材料都可被均勻涂覆到尺寸**為 150mm (6”) 127x127mm (5”x5”)的基板上。工藝腔設(shè)計(jì)可滿足**直徑為 176mm。

SM系列的優(yōu)點(diǎn)在于,具有令人信服的高度涂膜均勻性和工藝重復(fù)性,并且操作簡(jiǎn)單、使用舒適。為了使花費(fèi)在工藝腔清潔上的精力*小化,SAWATEC 公司開(kāi)發(fā)了一種極其實(shí)用且經(jīng)濟(jì)的工藝腔保護(hù)碗。工藝結(jié)束后,可以簡(jiǎn)單地移除和清理這種保護(hù) 碗。經(jīng)由如此的高品質(zhì)設(shè)計(jì),也可以將維護(hù)成本*小化。因此,SAWATEC勻膠機(jī)可被優(yōu)先應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室,研發(fā),試產(chǎn)項(xiàng)目以及研究所。

功能(基本配置)

。可編程,*多 50 個(gè)程序(各包含 24 個(gè)程序段)

。適用于重復(fù)工藝的快速啟動(dòng)功能

。觸摸屏面板控制,方便用戶程序配置工藝參數(shù):轉(zhuǎn)速、加速度、工藝時(shí)間旋轉(zhuǎn)方向可選 (順時(shí)針、逆時(shí)針)

。手動(dòng)裝卸基板

。通過(guò)具有安全保護(hù)的真空系統(tǒng)進(jìn)行基板固定

。手動(dòng)蓋子帶有空氣入口和閉合安全保護(hù)工藝結(jié)束時(shí)的聲音信號(hào)

性能數(shù)據(jù)

。速范圍:0 到 10,000rpm +/-1rpm

。轉(zhuǎn)速加速度:0–8,000rpm 為0.8秒/0–10,000rpm為1秒 1)

。減速度:10,000rpm-0 為2.5秒/8,000rpm-0 為0.8秒 1)

。工藝時(shí)間*長(zhǎng)為 2376 s

。每個(gè)程序段的給膠時(shí)間為 99 s

附加功能(可選項(xiàng))

。半自動(dòng)的管式給膠系統(tǒng),帶有手動(dòng)給膠手臂和回吸功能的

。工藝腔的手動(dòng)氮?dú)鈨艋b置

。用于簡(jiǎn)化操作的“啟動(dòng)/停止”腳踏開(kāi)關(guān)(電纜長(zhǎng)度 1.8m)

。經(jīng)陽(yáng)極電鍍處理的鋁制工藝腔

。鋁制或 PE(聚乙烯)材料制成的工藝腔保護(hù)碗用于 SM-150 勻膠機(jī)的真空泵

。晶圓定位器 2”–6”(圓形)

旋轉(zhuǎn)卡盤分類

為了達(dá)成**涂覆效果,我們提供了不同尺寸、材料和設(shè)計(jì)的旋轉(zhuǎn)卡盤。根據(jù)用途的不同,可使用單塊結(jié)構(gòu)或具有光學(xué)輔助置中功能的兩部分構(gòu)成的旋轉(zhuǎn)卡盤。為避免基板背面被弄臟,有時(shí)不僅要選擇**的旋轉(zhuǎn)卡盤尺寸,還要采用專門的卡盤設(shè)計(jì)。旋轉(zhuǎn)卡盤的更換過(guò)程非常簡(jiǎn)單,不需要使用工具。

。真空卡盤小片

。真空卡盤 1” 3”(圓形)

。真空卡盤 100mm(4”) 150mm(6”)

。真空卡盤 100x100mm(4”x4”) 真空卡盤 125x125mm(5”x5”) 其他卡盤需咨詢

設(shè)計(jì)和尺寸

。桌上式版本 SM -150-BT,

。內(nèi)嵌式版本 SM-150-BM

。緊湊且節(jié)省空間的結(jié)構(gòu)形式

。POM(聚甲醛樹(shù)脂)材料制成的工藝碗,確保了高材料兼容性

。POM(聚甲醛樹(shù)脂)材料制成的集成式防濺環(huán),確保無(wú)光刻膠濺出。透明蓋板:玻璃制成

。具有 3.5” 彩色顯示屏的觸摸屏面板

。高精度,高動(dòng)態(tài)的交流伺服電機(jī)

。經(jīng)電解拋光處理的不銹鋼外殼

。外殼(BT): 350 x 510 x 403mm (長(zhǎng)*寬*高)

。重量(BT): 約 29kg

。安裝模塊(BM): 300 x 300 x 368mm (長(zhǎng) x 寬 x

。安裝面板 320 x 166 x 50mm ( 長(zhǎng) x 寬 x

。重量(BM): 約 20kg

接口

。230 VAC 50/60Hz 10A

。腳踏開(kāi)關(guān)用插頭接口

。技術(shù)真空,軟管 ?6/4mm(-0.8bar)

。壓縮空氣或氮?dú)廛浌?6/4mm(3bar) (僅限于和給膠系統(tǒng)配合使用)

。排放接口 ?12mm

。BT 廢氣接口 ?38mm(20–50m3/h) BM 廢氣接口 ?25mm(20–50m3/h)

產(chǎn)品咨詢

瑞士Sawatec勻膠機(jī)SM-150

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